中文名甲硅烷

英文名Silane

別 稱硅烷、四氫化硅、甲硅烷、甲矽烷

化學(xué)式SiH4

分子量32.12

CAS登錄號7803-62-5

EINECS登錄號232-263-4

熔 點(diǎn)-185.0℃

沸 點(diǎn)-111.9℃

水溶性溶于水

密 度1.44g/L(0℃, 1bar)

外 觀無色氣體

危險(xiǎn)性符號易燃 有害

硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。目前應(yīng)用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上唯一的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造先進(jìn)陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強(qiáng)的燃燒能量，決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。

CAS登錄號7803-62-5

EINECS登錄號232-263-4

熔 點(diǎn)-185.0℃

沸 點(diǎn)-111.9℃

水溶性溶于水

密 度1.44g/L(0℃, 1bar)

外 觀無色氣體

危險(xiǎn)性符號易燃 有害