高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氬、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。

高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體，和無機(jī)高純氣體。

常見高純氣體的用途

環(huán)氧乙烷可用作生產(chǎn)增塑劑、潤滑劑等；

氯甲烷是重要的甲基化劑，還可作致冷劑、發(fā)泡劑等；

氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、局部麻醉劑；

二甲醚可作噴氣推進(jìn)劑、制冷劑、麻醉劑；甲硫醇用于合成染料、醫(yī)藥、農(nóng)藥；

乙炔可直接用于金屬切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等